冷溅射小型磁控溅射仪是一种利用电子束轰击靶材，将靶材溅射到基底表面形成薄膜的仪器。它的主要部分包括真空室、电子枪、靶材、磁控系统、基底台和控制系统等。磁控溅射仪具有高沉积速率、高成膜质量和较大的靶材利用率等优点，广泛应用于微电子、光学、磁性...

薄膜制备小型磁控溅射仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器，用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。薄膜制备小型磁控溅射仪设备由磁控溅射...